アルバックの残留ガス分析計（プロセスガスモニタ）は、宇宙、原子力などの最先端研究・開発用途に適した高性能・高分解能ハイエンドモデルから、 一般用途に適したベーシックタイプまで幅広いラインナップがあります。 シンプルさと使いやすさを実現し、真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。
真空の質を確認したい、
気体の成分毎の情報を知りたい
| プロセス | 用途 | 目的 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置 プロセスモニタ |
残留水分（H20）やリークの確認 | 結晶性の低下 |
| 液晶パネル製造装置 プロセスモニタ |
残留水分（H20）の確認 | 液晶面の歩留まり問題 |
| 光学用蒸着装置 プロセスモニタ |
残留水分（H20）の確認 | 光学薄膜面の歩留まり問題 |
| 真空熱処理装置 雰囲気モニタ |
残留酸素（O2）やハイドロカーボン（CXHY）、リークの確認 | 光輝性の低下、色ムラの出現 |
| 凍結乾燥装置 プロセスモニタ |
乾燥確認、不純物流入確認 | 乾燥時間の長大化性能・効能・味・見た目の変化 |
成膜装置おけるプロセスガスモニタ
「誰にでも簡単に取扱いが可能」「立上げ時間の短縮」「リークテストの簡便さ」を求め、使い勝手を焦点に合わせたアルバックのQuleeシリーズは、分析管と一体になっている電源部に操作面や表示部を設け、パソコンを立ち上げることなく測定可能です。また、パソコンを介して詳細なプロセス解析やデータ管理・処理をおこなうこともできます。
各種プロセスデータ例
アルバックの残留ガス分析計/プロセスガスモニタに対応したソフトウエア「Qulee QCS」により、簡単なクリック操作でスキャンモード（任意の質量数範囲を測定）やトレンドモード（任意の質量数についての経時変化を測定）など、使用される方のニーズにマッチした測定方法を選択することができます。
ガス分析計用ソフトウェアQulee QCSの特徴
- One Clickのみで分析スタート
複雑な操作は一切なし、操作性大幅に向上
電源を接続すればスタートスイッチONのみ - スィッチも必要最少限に抑え取扱も簡便
- PCレスでリークテスト、不純物（H2O）分析が可能
- PCを使用することで取扱説明書レスも可能
環境にも優しい、クリーンルームでのご使用にも最適
測定モード
スキャンモード
任意の質量走査範囲を連続にスキャンして、質量スペクトルを測定するモードです。
質量数の設定は分析管の仕様に依存します(M/e=1～300等)
トレンドモード
任意の質量数を選択的に測定して、各測定質量数の経時変化を測定するモードです。
最大20CHまで測定可能。質量数の設定は分析管の仕様に依存します(M/e=1～300等)
アナログモード
アナログ波形を確認するモードです。
スキャンモード・トレンドモードにて使用するセンサーのアナログ波形のピークトップ設定値を規定、調整するモードです。この作業を質量数校正と呼びます。
濃度表示機能
表示単位にA、Pa以外にppmを表示できます。
メインのガスを100%として計算することにより分析した気体中の成分がppmで表示可能です。
トレンドモードにおいて、組成名の表示が可能です。
質量数(M/e)表示に加え、He、Ar、N2などの気体の名称の表示可能です。
積分機能
トレンドデータ上の任意の範囲を積分(面積)計算する機能を追加しました。
これにより総放出ガス量の計算などが容易に可能となり、昇温脱離ガス分析、破壊分析などのアプリケーションで有効となります。
積分結果はテキスト形式での保存ができます。
バックグランド処理機能
トレンドデータの任意の点をバックグランドとして、差し引き計算を行い表示する機能を追加しました。昇温脱離ガス分析、破壊分析などのアプリケーションで有効となります。
用途
- 有機EL蒸着装置の残留水分管理
- 光学膜やメタル膜用蒸着装置の不純物管理
- 各種スパッタリング装置のRGAとして
- 各種真空炉（真空熱処理炉/溶解炉/ロー付炉など）のRGAとして
- 真空凍結乾燥炉のRGAとして
- 各種研究開発向け
特徴
- コストパフォーマンス抜群
- PVDのRGAとして最適
- PCレスで測定が可能（表示部一体型）
- 測定中120℃までのベーキング可能（分離状態では250℃まで可）
- リークテスト機能の充実
- QIPのオプション対応可能（自動測定開始/終了/データ保存機能付）
- デガス機能搭載（電子衝撃離脱方式）
該当品
BGM-101/102/201/202
用途
- FPD、SEMI、PVなどのスパッタリング装置
- 巻取スパッタリング装置の残留水分管理
- 各種スパッタリング装置の不純物管理
特徴
- スパッタリング装置のプロセス管理に最適
- スパッタリング装置の残留ガス分析（RGA）測定も可能
- 差動排気系不要、Process（1Pa）でも測定可能
- PCレスで測定が可能（表示部一体型）
- リークテスト機能の充実
- 測定中120℃までのベーキング可能（分離状態では250℃まで可）
- 小型分析管
- QIPのオプション対応可能（自動測定開始/終了/データ保存機能付）
- デガス機能搭載（電子衝撃離脱方式）
該当品
CGM-051/052
用途
- 昇温脱離ガス分析などの各種研究開発向け
- 極高/超高真空排気装置の残留ガス分析
- ガス中の微量不純物の測定
- 太陽電池関連の研究開発
- 環境測定
特徴
- 世界最高検知分圧を実現
- 10-13Pa台の測定が可能
- 各種研究開発用途に最適
- 質量数300番まで測定可能（HGM-302）
- 測定中250°Cまでのベーキング可能（分離状態では300°Cまで可）
- フィラメント、イオンソース、二次電子増倍管の交換が簡単
- PCレスで測定が可能（表示部一体型）
- デガス機能搭載（電子衝撃離脱方式）
該当品
HGM-202/302
用途
- エッチング装置、CVD装置の各種管理
・プロセス中の反応ガスモニタ
・エッチングやクリーニングプロセスのエンドポイントモニタ
・残留ガス分析
・残留ガス分析排ガス分析
・リークテスト
特徴
- 反応性ガス・腐食性ガス化においても長時間安定測定が可能
- 磁石付クローズド型イオン源の採用
・ソフトイオン化でガス乖離が少ない
・ULVAC独自のV字型フィラメントの採用 - コンパクトな流路制御バルブの採用
- リークテスト機能の充実
- 予防保全機能の充実
該当品
RGM-202/302
用途
- 各種研究開発用途向けのガス分析
- 大気圧分析/環境測定など（大気圧仕様）
- 凍結乾燥装置の乾燥ポイントおよび不純物管理
- 真空浸炭炉のエンドポイントモニタおよび酸素濃度管理
特徴
- コストパフォーマンス抜群
- コンパクト設計/標準排気ユニット・YTP-50Mを採用
- 測定圧力帯を大気圧/3000Pa/500Pa/100Pa/10Pa/1Paから選択可
- ランニングコスト低減（ターボ分子ポンプ）
・ピポット軸受のため面倒なオイル交換/補充や軸受交換が不要 - 清浄な高真空を実現
- ターボ分子ポンプで使用のフッ素油は飽和蒸気圧が10-11Pa台で、DRY仕様とすることで限りなく清浄
該当品
Qulee with YTP(BGM-101/102/201/202/HGM-302）
