アルバックのメカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット YMVシリーズは、ポンプ排気量に合わせて4種類から選定でき、ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計により、生産設備でのご利用に最適です。
従来のメカニカルブースターポンプ排気装置YM-VDと同じコンセプトの架台で、油回転真空ポンプVSシリーズを搭載することも可能になりました。
基本構成
① 架台ユニット【ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き】
② メカニカルブースターポンプ(別途ご手配いただきます)
③ 油回転真空ポンプ(別途ご手配いただきます)
オプション(別途ご手配いただきます)
① オイルミストトラップ
② 大気圧駆動【インバータ付き】
③ 制御盤
④ 端子台ボックス
⑤ 吸気口フランジ
⑥ 遅延真空電磁弁
⑦ 冷却水フロースイッチ
ご要望の排気速度のポンプおよび必要に応じてオプションを選定いただきます。
(※注意:ポンプおよびオプション部品は架台ユニットとは別手配となります)
ご発注時の注意点
- YMVシリーズは、メカニカルブースターポンプ用の架台ユニットです。
メカニカルブースターポンプ+油回転真空ポンプは別に手配いただきます。 - メカニカルブースターポンプ,油回転真空ポンプの仕様は、単体のカタログを参照下さい。単体オプションの追加が可能です。
(※大気圧駆動(インバータ)につきましては、YMVのオプションから選定して下さい)
YMVシリーズと搭載ポンプ例
架台ユニット(YMVシリーズ) | メカニカルブースターポンプ | 油回転真空ポンプ |
---|---|---|
YMV-01A | PMB100D ※ | VD30C ※ |
PMB-001C(M) | ||
YMV-03A | PMB300D ※ | VD40C ※ |
PRC-003A | ||
PMB-003C(M) | ||
YMV-06A | PMB600D ※ | VD60C ※ |
PRC-006A | ||
PMB600D ※ | VD90C ※ | |
PRC-006A | ||
YMV-12A | PMB600D ※ | VS1501 ※ |
PRC-006A | ||
PMB600D ※ | VS2401 ※ | |
PRC-006A | ||
PMB1200D ※ | VS1501 ※ | |
PRC-012A | ||
PMB1200D ※ | VS2401 ※ | |
PRC-012A | ||
YMV-18A | PRC-018A | VS2401 |
【注意】
クリーンルーム内でご使用の場合は、キャンドモーター仕様のメカニカルブースタポンプPRCシリーズの搭載を推奨いたします。
YMV-18Aは、PRC-018A搭載モデルです。ご要望に合わせてご提供いたします。
油回転真空ポンプ型式 | 低〜中負荷用 10,000Pa以下 |
高負荷用 10,000Pa以上 |
---|---|---|
VD30C/VD40C | TM201 | TM401 |
VD60C/VD90C | TM401 | TM-2 or TM-2F |
VS1501 | TM-3 or TM-3F | |
VS2401 | TM-4 or TM-4F |
排気口が傘タイプではなくフランジマウントを希望場合は、Fが付く型式を選定ください。
② 大気圧駆動(インバータ)
メカニカルブースターポンプを大気圧駆動させる時にYMVオプションインバータを採用します。
架台取付タイプ(ポンプとは別置)となります。
【注意】メカニカルブースターポンプ単体オプションのポンプ一体型インバータは選定できません。
MBP取付(取付座付) | 別置きタイプ |
---|---|
オプション設定なし | I2(YMV用、PMB100D除く) MBP水冷設定INV、200〜240V用 |
オプション設定なし | I4(YMV用、PMB100D除く) MBP水冷設定INV、380〜480V用 |
オプション設定なし | A2(YMV用、PMB100Dのみ、その他は特型対応) MBP空冷設定INV、200〜240V用 |
オプション設定なし | A4(YMV用、PMB100Dのみ、その他は特型対応) MBP空冷設定INV、380〜480V用 |
③ 制御盤
油回転真空ポンプとメカニカルブースターポンプのON/OFFスイッチが付いている制御盤です。モータブレーカー/サーキットプロテクタが内臓されています。
※ ポンプの選定(機種と電圧)により、異なった制御盤を用意しています。
④ 端子台ボックス
油回転真空ポンプとメカニカルブースターポンプのケーブル接続を一か所へまとめた端子台付きのボックスです。制御盤とは併用しません。
※ポンプの選定(機種と電圧)により、異なった端子台ボックスを用意しています。
⑤ 吸気口フランジ
メカニカルブースターポンプの吸気口上に取り付ける短管です。
φ18ゲージポート+リークポート+1/4Bソケットが付いています。
※100用(VG50)、300D/600D用(VG80)、1200用(VG100)、1800用(VG150)から選定
⑥ 遅延真空電磁弁
停止させた時に油回転真空ポンプの油が吸気口側に逆流するのを抑える目的で真空破壊(リーク)させる電磁弁です。
※DC24V/AC200V/AC220V/AC380V/AC400V/AC415V/AC440Vから選定
遅延真空電磁弁を採用する際は、配管に1/4Bのソケットが必要になります。オプション⑤の吸気口フランジとセットでの購入をお奨めします。
⑦ 冷却水フロースイッチ
ポンプの水冷水量を監視します。冷却水不足でのトラブルを回避します。
※DC24V仕様となります。
メカニカルブースターポンプ用架台ユニット YMVシリーズ カタログ [PDF]
油回転真空ポンプ VDシリーズ
油回転真空ポンプ VSシリーズ
メカニカルブースターポンプ PMBシリーズVer.D
メカニカルブースターポンプPRCシリーズ