成膜コントローラ用水晶板 UCRシリーズ

成膜プロセスを成功に導くULVACの新たな水晶板は、従来の水晶板よりも成膜中の温度特性に優れ、輻射熱によるレート変動も小さく、再現性がパワーアップしています。長寿命で安定性かつコントロール力を高め、成膜制御の向上を図るために開発しました。

■輻射熱による周波数変化はクラス最少

■有機材料に特化した高性能な水晶板（UCR-4MAG-12）

■回転型タイプのケースの採用

水晶板を交換したら周波数が変わってしまった。
新品の水晶板なのに、発振周波数が同じではない。

■発振周波数を決める要素は様々…

水晶板　カット角、形状、表面処理
電極　　材質、面積、厚さ、形状
センサ　水晶板とセンサ電極の接触状態など

水晶板に微妙な個体差が存在し、
実際の着膜による周波数変化だけではない

OLEDパネルをはじめとした新市場では、従来見過ごすことができた「不安定要素」を無視できない場合が生じるようになりました。

・Å以下のレート制御をしたい
・低レート成膜をしたい
・膜厚のバラツキを数％にしたい
・数十層の極薄膜を形成したいなど

周波数測定に対する不安定要素をなるべく排除、改善する必要があります。

ソフト演算処理で安定性を向上させる方法もあるが、
真の解決ではない

新しい水晶板UCRシリーズは、ULVACのノウハウを詰め込み、優れた温度特性と周波数の均一性により従来の問題点を低減させました。

輻射熱による周波数変化はクラス最少

水晶板個体差による周波数分布が小さい

様々な条件下で、より安定した成膜が可能

メタル：AL、Cu、Au、Ag、Ni、Ti、Cr など
酸化物：SiO2、ZrO2、AL2O3など
有機材料：OLEDパネル

4ＭHz、5MHzのラインナップで、種々の成膜プロセスに対応し、ULVACの独自技術と実績を詰め込んだ新水晶板が成膜プロセスの質、タクト向上に貢献します。

型式	UCR-4MAG-12	UCR-5MAU-12	UCR-5MAG-12
推奨用途	有機材料膜(OLEDパネル)	メタル膜、光学膜
周波数	4MHz	5MHz
寸法	φ12.4
電極	Ag	Au	Ag
対応成膜コントローラ	CRTM-9200	CRTM-6000G / CRTM-9200
搭載可能センサ	シングルセンサ（CRTS-4,6,0）マルチセンサ（CRTS-12NS）	シングルセンサ（CRTS-4,6,0、4U,6U）マルチセンサ（CRTS-12NS,M6）
電極表面	鏡面仕上げ	標準仕上げ
梱包形態	専用回転型タイプケース（12pcs)

製品のお問い合わせ

・これから成膜を導入される方も
・既に成膜を行っている方も
・ULVAC製のセンサをお使いの方はもちろん他社センサをご使用中の方も

新水晶板UCRシリーズが成膜を向上させます。その実感、その効果を感じていただけるはずです !

※詳しくは弊社営業担当まで、お問い合わせください