蒸発用EBガン
EGK/EGL/EGOシリーズ

成膜用電源 / EBガン各種電源・ロボット関連

アルバックの電子ビーム蒸着用EBガンは、すべて磁場偏向を使用しています。 また、蒸発材料からの汚染を極力防ぐ構造となっています。 ラインアップは、小容量の実験用途に向くEGKシリーズから、金属用の生産に向くEGLシリーズ、光学用のEGOシリーズと幅広く揃っています。

用途

• 電子ビーム蒸着用蒸発源

特長

• EGK/EGLタイプは、金属蒸着に最適です。
• EGLタイプは、フィラメント汚染のない270°偏向になっています。
• EGLタイプは、ルツボの冷却性能が高く、汚染を極力防ぐ構造です。
• EGOタイプは、高速スイープと垂直入射を備え、酸化物や化合物の蒸着に最適です。