水晶発振式成膜コントローラ
CRTM-9200
CRTM-9200はCRTM-9100Gの後継機として、機能・デザイン共に継承で互換性は基本的に維持しつつ、ディスプレイの視野角もこうじょうしております。優れた膜厚・レート分解能（0.0022Å）で低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラです。オプション追加で最大4元同時に蒸着制御も可能です。
用途
- 蒸着時の膜厚及びレート制御
特長
- 優れた膜厚・レート分解能(0.0022Å)により、低レート蒸着制御にも最適です。
- 4元同時の蒸着制御が可能です。(オプション追加時)
- 最大99層までの多層膜制御が可能です。
- プログラムをUSBメモリへ保存可能です。
- 水晶板への成膜に付着した膜の履歴を考慮した正確な膜厚測定が出来ます。(MLC機能)
仕様
| 膜厚・レート分解能 |
0.0034 Å (4MHzクリスタル時・水晶板使用時) 0.0022 Å (5MHzクリスタル時・水晶板使用時) 0.0015 Å (6MHzクリスタル時・水晶板使用時) |
| 膜厚表示範囲/表示分解能 | 0.001kÅ 〜 999.9kÅ /1Å |
| 蒸着速度表示範囲/表示分解能 | 0.001 〜 999.9Å/s / 0.001Å/s |
| 対応センサ周波数 | 4MHz, 5MHz, 6MHz |
| 取り付け可能センサ数 | 2 (オプション追加で最大8) |
| サンプリングレート | 250ms |
| 多層膜数 | 99層 |
| デポジションプログラム数 | 128 |
| デジタル入力/出力 | 入力：12chプログラマブル 出力：16chプログラマブル |
| アナログ出力 | POWER(0〜0.99V) オプションでRATE、THK追加可能 |
| 外形寸法(W×D×H)mm | 480 x 318 x 149 |
お役立ち情報
購入時の注意点
- CRTSご注文時にオシレータは付属されていますが、CRTMとオシレータを繋ぐ外部ケーブルは、別売りになります（長さをご指定ください）
- 長寿命CRTSの場合は、CRTMとオシレータを繋ぐ外部ケーブルとオシレータコントロールケーブルの2本が必要です。それぞれ別売りになります（長さをご指定ください）
- CRTSご注文時には、導入端子からセンサー先端までの長さをご指定ください（付属の内部ケーブル長も自動的にセンサー長に合わせます）
