メカニカルブースターポンプ PRCシリーズ Ver.A
PRC シリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースターポンプです。キャンドモータを採用することにより軸シール部からの油漏れが起こりません。オプションで大気圧駆動型も選べます。
用途
- 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
- 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
- 分析機器、リークテスト装置
- ガス置換、充填、真空断熱
- 熱処理炉、溶解炉
- その他各種真空装置
特長
- オイルフリー
ケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。 - キャンドモータ採用
キャンドモータを採用することで、大気/真空のメカニカルシールをなくすことができました。油漏れの心配がなく、クリーンな環境でご使用いただけます。 - 耐腐食性に優れた表面処理
主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施しており、ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。オプションで表面処理無も用意しています。 - 排気時間短縮に有効な大気圧駆動型（オプション：インバータ）
粗引ポンプとの同時起動が可能なため、標準型に比べ排気時間が短縮できます。
仕様
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型式 |
PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | |||
| 最大排気速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 280（4670） | 500（8330） | 1000（16700） | 1500（25000） | |
| 60Hz | 330（5500） | 600（10000） | 1200（20000） | 1800（30000） | |||
| 最大吸入圧力 | 50Hz | Pa | 1.2 x 103 | 1.3 x 103 | 1.2 x 103 | ||
| 60Hz | 9.3 x 102 | 1.1 x 103 | 9.3 x 102 | ||||
| 最大許容圧力差 | 50Hz | Pa | 4.0 x 103 | 7.3 x 103 | 4.3 x 103 | ||
| 60Hz | 3.3 x 103 | 6.0 x 103 | 3.2 x 103 | ||||
| 到達圧力 *1 | Pa | 4.0 x 10-1 | 6.7 x 10-1 | ||||
| 駆動可能圧力 | Pa | 〜1.0 x 105（大気圧駆動型） | |||||
| モータ出力（極数） *2 | kW | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7（2） | 5.5（2） | ||
| 使用油 *3 | ULVOIL R-4 | ||||||
| 所要油量 | L | 0.7 | 1.5 | 1.9 | |||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||||
| 冷却水 | 一時側圧力 | MPa | 0.3 | ||||
| 出入口差圧 | MPa | 0.01以上 | |||||
| 冷却水量 | L/min | 2 | 3 | ||||
| 冷却水温度 *4 | ºC | 5 〜 30 | |||||
| 吸気口径 JIS-B-2290 | VG80相当 | VG100相当 | VG150相当 | ||||
| 排気口径 JIS-B-2290 | VF80相当 | VF100相当 | |||||
| 外形寸法（W×D×H） | mm | 296×575×260 | 356×619×320 | 406×759×340 | 406×989×340 | ||
| 質量 *5 | kg | 51 | 86 | 118 | 150 | ||
| 標準補助ポンプ *6 | VD601 | VD901 | VS1501 | VS2401 | |||
| オプション | 大気圧駆動（インバータ）、潤滑油、潤滑室別排気ポート | ||||||
| 注) |
本仕様表は、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。 |
| *1 | ピラニ真空計での測定（補助ポンプ、使用油は標準）。マクライド真空計では4.0×10-2Paになります。 |
| *2 | AC200V（50Hz/60Hz）、AC220V（60Hz）、3相 |
| *3 | オプションで合成油：R-7000、フッ素油：J25Fが選定できます。 |
| *4 | 冷却水温が低い場合は、結露しない環境でご使用ください。 |
| *5 | 標準ポンプの値。（オプション：インバータは含まず） |
| *6 | 標準補助ポンプの性能によりメカニカルブースタポンプの性能が変化します。上記データは、標準補助ポンプと組み合わせた場合の値です。 |
