メカニカルブースターポンプ PMBシリーズ Ver. D

真空ポンプメカニカルブースターポンプ

PMBシリーズVer.Dは汎用型のメカニカルブースターポンプです。オプションで表面処理や大気圧駆動型が選択でき、空冷での運転も可能となりました。

用途

• 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
• 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
• 分析機器、リークテスト装置
• ガス置換、充填、真空断熱
• 熱処理炉、溶解炉
• その他各種真空装置

特長

• 空冷用インバータの搭載により、全圧力領域にて空冷運転が可能です。
• マルチ電圧モータの選択可能（200V級、マルチ電圧）
  汎用モータとの互換性があるので、防爆モータ（オプション）の搭載も可能です。
• 耐腐食性に優れた表面処理（オプション : Tタイプ）
  主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施します。ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。
• 排気時間短縮に有効な大気圧駆動型（オプション : インバータ）
  粗引ポンプとの同時起動が可能なので、標準型に比べ排気時間が短縮できます。