ピボット軸受型ターボ分子ポンプ
UTMシリーズ
ULVACターボ分子ポンプUTMシリーズは、一般的なベアリング軸受とは異なる高性能軸受を採用し、優れた特長を持っています。
用途
- 各種分析装置の真空排気用として
- 加速器、ビームラインの粗引きポンプとして
- 実験装置用の高真空排気用として
特長
- 上部に永久磁石による非接触の磁気軸受、下部にふっ素油を使用したピボット軸受の採用により、高速回転時の機械的接触を完全に追放
- 面倒なオイル交換やベアリング交換を不要とし、長寿命軸受を実現
- ターボ分子ポンプに使用しているフッ素系油の飽和蒸気圧は10-11Pa台(20℃)のため、限りなくオイルフリー
- ファインダイナミックバランスロータと高性能軸受により高速回転を実現
- 水素・ヘリウムなどの分子量の小さな気体に対する高い圧縮比
- ファインダイナミックバランスロータと高性能軸受により、驚異の低騒音、低振動を実現
仕様
| 型式 | UTM -50 | UTM -150 | UTM -300 | UTM -500 | ||
| 吸気口フランジ口径 | CF114 | CF152 | CF203 | |||
| VG65 | VG100 | VG150 | ||||
| 排気口フランジ口径 | NW16 | NW25 | NW40 | |||
| 排気速度(L/s) *1 *2 | N2 | 50L/s | 190L/s | 300L/s | 550L/s | |
| H2 | 40L/s | 160L/s | 260L/s | 500L/s | ||
| 到達圧力 *1 *3 | 10-7Pa | 10-8Pa | ||||
| 最大圧縮比 *1 *3 | N2 | >108 | ||||
| H2 | 103 | 104 | 105 | |||
| 軸受方式 | 上部 | 磁気軸受 | ||||
| 下部 | ピボット軸受 | |||||
| 冷却方式 | 水冷/空冷 | |||||
| *1 | JVIS005規格による計測値、またはその計測値にもとづく計算値 |
| *2 | 保護金網装着無しの値 |
| *3 | オーダを示す |
データダウンロード
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