セラミックキャパシタンスマノメータ
CCMT-Dシリーズ
真空計トランデューサ型キャパシタンスマノメータ分析・計測機器
CCMT-Dシリーズは、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく（絶対圧真空計）、精度良く測定出来ます。
用途
- 成膜装置のプロセス中の圧力モニタに
- 真空溶解、真空熱処理炉などの真空排気系の圧力モニタに
- 太陽電池などの各種製造装置の圧力モニタに
特長
- 長期間にわたる安定製性
- セラミック膜の採用による、優れた耐腐食性
- 温度補償回路内蔵タイプ
- 汚れからセンサを保護する構造を新規採用
- プッシュボタンによる0点調整が可能
仕様
| 型式 | CCMT-D | ||
| 測定 フルスケール |
CCMT-1000D | 133kPa F.S. | |
| CCMT-100D | 13.3kPa F.S. | ||
| CCMT-10D | 1.33kPa F.S. | ||
| CCMT-1D | 133Pa F.S. | ||
| 分解能 | フルケースに対し0.003% | ||
| 精度 *1 | 指示値に対し ±0.2% ±温度係数 |
||
| 温度係数 | ゼロ電圧 | 0.005% F.S. / ºC | |
| スパン電圧 | 0.01% R / ºC | ||
| 使用温度範囲 | 10〜50ºC | ||
| 応答速度 | 30ms以下 | ||
| 接ガス部材質 | Al2O3、Vacon70 *2、SUS316 *3 | ||
| 入力電源 | DC14〜30V, 1W | ||
| 出力 | DC 0〜10VF.S | ||
| 質量 | 329g（直径12.7・標準型） | ||
| 外形寸法 | 直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型) | ||
| フィッティング | 標準：直径12.7パイプ オプション：NW16KF、Cajon 8VCR | ||
| 温度補償 | 温度補償回路内臓 | ||
| 入出力コネクタ | D-sub 15ピン オス | ||
| *1：2時間電源投入後、使用環境温度25ºC |
| *2：18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe |
| *3：28% Ni, 23% Co, 49% Fe |
