スパッタリング用DC電源
DCSシリーズ

成膜用電源 / EBガン各種電源・ロボット関連

スパッタリング用DC電源DCSシリーズは、基本的な性能はもとよりコストパフォーマンスに優れ、幅広い分野でご使用いただけるDC電源です。また、異常放電防止ユニット（A2K）との組み合わせにより、反応性スパッタリングにおいてもその威力を存分に発揮します。
>> アルバックのDC電源　3つのメリットとは？

用途

• Al,Ni等の金属のスパッタリング用、バイアス用のDC電源として使用できます。

特長

• 出力制御性の向上（定格の1〜100％での運転可能）
• タップ切替えなしで広範囲な出力範囲
• 2種類の異常放電検出機能を標準搭載
• アイソレーションによる外来ノイズ対策（オプション）
• 3つの運転モード（定電力・定電流・定電圧制御）が選択可能
• +100Vまでフローティング可能