アクターポンプ
PST-400CX2/400AX2
スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、スパッタイオンポンプで
10-10Pa台の極・超高真空を単体で生成出来るポンプとして、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子)の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ』を開発しました。
用途
- 加速器
- 電子顕微鏡
- 分析機器
特長
- 極・超高真空対応。ISO規格のテストドームをつけて10-10Pa台の到達圧力を実現。
- 希ガス排気強化型(AX2型)はアルゴンに対し2倍の排気性能を実現。(当社比)
- 超高真空領域において大きな排気速度を実現。
- 短時間で超高真空領域まで排気可能。
- 極・超高真空領域における優れた起動特性。(放電が超高真空領域まで持続)
仕様
| 排気速度(再生排気速度) 1×10-7Pa時 |
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| 到達圧力 | 10-10Pa台 | ||||
| 動作圧力 | <3.0×10-3Pa(推奨値) (最大動作圧力1×10-3Pa) *GST-07Lコントローラ使用時 |
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| 内容積 | 約0.014m3 | ||||
| ポンプ素子数 | CX2型セル×4式・AX2型セル×4式 | ||||
| 接続フランジ型式 | UFC203 | ||||
| 印加電圧 | DC+7.5kV | ||||
| 標準ベークアウト温度 | 250°C | ||||
| 質量 | 約124kg (ヒーター付) | ||||
| 外形寸法 W×D×H | 296×544×376 mm | ||||
| ヒータユニット所要電力 | 単相200V 約800W |
