走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM)
PHI 710
オージェ電子分光法 ( AES: Auger Electron Spectroscopy) は、試料に電子線を照射したときに放出されるオージェ電子のエネルギーを測定し、試料表面の元素組成および元素分布を得る分析手法です。
PHI 710 走査型オージェ電子分光分析装置は、8nm以下のオージェ電子空間分解能を保証している世界唯一のオージェ分析装置です。アコースティックエンクロージャを標準装備し、従来のオージェ分析では不可能であった50万倍での低ドリフト（測定位置がほとんど動かない測定条件）でのオージェ分析が可能となり、真のナノメートルレベルでの微小部オージェ分析を実現します。
特長
仕様
| SEM像分解能 （25kV） | ≤ 3 nm |
|---|---|
| AES空間分解能（20kV,1nA） | ≤ 8 nm |
| 感度 | 700 kcps ( CuLMM ) @ 10 kV, 10 nA |
| エネルギー分解能 | 0.5 % 以下 （HRモード 0.1～0.5%） |
| 到達圧力 | 6.7 × 10-8 Pa以下 |
| ソフトウェア | SmartSoft™-AES（測定ソフトウェア） |
| PHI MultiPak™（解析ソフトウェア） | |
| オプション | 6試料パーキング機構、試料冷却破断機構、EBSD、反射電子検出器、イントロカメラ、イントロコールドカソードゲージ、トランスファーベッセル、サーモバルブ |
