触針式プロファイラ
P-7/P-17
P-7/P-17 は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。※日本国内販売のみ
特長
【P-7】
【P-17】
仕様
| P-7 | P-17 | P-17 OF | ||
| 測定長さ | 150mm | 200mm | ||
| サンプルステージ直径 | 150mm | 200mm | 240×240mm オプション:φ300mm |
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| XYステージ移動範囲 | φ150㎜ 電動プログラマブル | φ200mm 電動プログラマブル | ||
| θステージ | 360°手動 | 360°電動プログラマブル | ||
| サンプル厚さ（最大） | 55mm | |||
| サンプル観察 | ・シングルビュー （トップorサイドを選択） ・4Xデジタルズーム付き ・サイドビュー: 視野1.05×0.85mm ・トップビュー: 視野1.7×1.4mm |
・デュアルビュー（トップ＋サイド） ・3.5X光学ズーム付き ・サイドビュー:視野1.4×1.4mm ・トップビュー:視野0.85×1.2mm |
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| 段差測定再現性 | 1σ＝0.4nm （1μm標準試料） | |||
| 垂直測定レンジ（最大） | 327μm オプション：1000μm | |||
| 垂直測定分解能（最高） | 0.001nm （6.5μmレンジ） | |||
| 針圧範囲 | 0.5～50mg オプション：0.03～50mg（測定レンジ 131μm） | |||
| 触針先端半径 | 2μmR | |||
| プロファイルデータポイント | 4,000,000 | |||
| 自動シーケンス測定 | 20サイト オプション：1,000サイト | |||
| ストレス測定 | オプション：2Dストレス | オプション：2D/3Dストレス | ||
| パターン認識 | オプション | |||
| プロファイルスティッチング | 標準 | |||
| オートレベリング | 標準 | |||
| Apex 2D/3D解析 | 標準:2D | オプション:3D | ||
| OS | Windows7 | |||
| 電源 | AC90-230V、50/60Hz、500VA | |||
| 外形寸法（W×D×H) / 重量 | 570×670×430mm / 80kg | 560×970×430mm / 100kg | 740×970×430mm / 109kg | |
| （本体測定部のみ、PC・モニタ含まず） | ||||
