残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ
ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ
Qulee HGMシリーズ

ガス分析計 （プロセスガスモニタ）分析・計測機器

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの残留ガス分析計Quleeシリーズのハイエンドモデル機"Qulee HGM"です。
2.5×10^-6 A/Pa（ファラデーカップ）という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。

用途

• 昇温脱離ガス分析など各種研究開発
• 極高・超高真空排気装置等の残留ガス分析
• ガス中の微量不純物の測定
• 太陽電池関連の研究開発
• 有機分析
• 環境測定

特長

• ハイエンド機能としての高感度を実現：2.5x10^-6A/Pa
• 表示部一体型の設計：PCレスでも測定可能
• One Click機能（だれにでも簡単、複雑な操作は不要）
• センサユニット接続時で最大250ºCの高温ベーキングが可能
  (センサユニット分離状態：300ºC）
• 電子衝撃脱離方式の採用
• フィラメント、イオンソース、二次電子倍増管の交換が簡単
• イオンソース、二次電子倍増管の予防保全、分析管のトレーサビリティ機能の搭載（特許出願中）
• ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルトアップテストが可能
• 全圧測定が可能（電離真空計機能）
• ソフトウエアQulee QCSが標準搭載（Windows XP/7対応）
• CE標準対応