水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサ
CRTS-12NS
CRTS-12NSは水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式のマルチセンサです。5MHzクリスタルを12枚搭載可能ですので、長時間にわたる連続蒸着などにも安心してお使い頂けます。
用途
- 光学、光通信部品
- 有機EL
- 電子部品、その他
特長
- 5MHz、ATカットクリスタルを12枚搭載可能
- 真空モータを採用した独自の駆動方式により、高い信頼性を実現
- クリスタルの交換は、ホルダごと脱着して行えるため簡単
- クリスタルの異常発振（寿命）を検知し、自動的にクリスタルの切り替えが可能（コントローラにCRTMシリーズを使用時）
仕様
| センサヘッド部 | |
| 搭載クリスタル数 | 12枚 |
| 対応クリスタル | 5MHz ATカットクリスタル |
| 耐熱温度 | 350C° |
| 冷却水量 | 1L / min |
| 重量 | 2kg |
| 寸法 | φ104mm x H 約61mm |
| コントローラ部 | |
| デジタル入力 | INIT, CNT, STOP |
| デジタル出力 | Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END |
| ユーティリティ | DC24V, 3.0A |
| 寸法 W×D×H | 100mm x 250mm x 99mm |
