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製品情報

ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

ターボ分子ポンプ排気ユニット Desktop YTP

セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。 デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時の運転音、振動を低減しました。また、機器操作にはタッチパネルを採用し、分かり易い表示アイコンでシンプル操作が可能です。

ターボ分子ポンプ排気ユニット YTPシリーズ

YTPシリーズは、ULVACターボ分子ポンプ(UTMシリーズ)、ロータリーポンプ、フォアバルブ、ピラニ真空計と制御系から構成される簡易...

ターボ分子ポンプ排気ユニット YTPシリーズ Ver.B

YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。大気圧から高真空までの排気が可能です...

コントローラ一体型ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機...

セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧...

UTM70B

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化に より省スペースを実現。優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。

ピボット軸受型ターボ分子ポンプ UTMシリーズ

ULVACターボ分子ポンプUTMシリーズは、一般的なベアリング軸受とは異なる高性能軸受を採用し、優れた特長を持っています。

 

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