高速排気と低消費電力を両立したドライ真空ポンプです。 4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐...

ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格（CE,cTUVus）を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を...

ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。

ECO-SHOCKは、ドライポンプに取り付けることによって消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。
ES4Aは、仕込取出し室の頻繁な繰り返し排気に使用する用途やターボ分子ポンプのバックのように到達圧力運転時間の長いドライポンプの電力削減に最適です。

特許登録済（日本、中国、台湾、韓国、シンガポール）

ECO-SHOCK（エコショック）は、現在ご使用のドライ真空ポンプに取り付けることによって、ドライポンプの大幅な省エネを可能にする画期...