クライオポンプ

クライオポンプは、気体分子を極低温面で凝縮、吸着させることにより、すべての気体を排気することができます（特に水分の排気能力が高い）。真空容器内で動作するものが無く、油を使用しないためクリーンな真空が得られ、吸着方式のポンプにもかかわらず排気速度が大きいことが特長です。

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてま...

スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサで複数のポンプを運転するマルチシステム。

クライオU シリーズの再生時間を大幅に短縮する「急速常温再生システム」を搭載したクライオポンプです。
従来比で、約２分の１に...

ヘリウム冷凍機を用いるスーパートラップは、水分の排気速度を大幅にアップさせて、装置の稼働率向上に寄与します。
使用する冷媒は...

クライオポンプに使用しているGM 冷凍機は、超伝導などを利用した分野にもその用途を広げています。
4K 冷凍機やパルスチュー...

クライオポンプに使用しているGM 冷凍機は、超伝導などを利用した分野にもその用途を広げています。
4K 冷凍機やパルスチュー...

クライオポンプに使用しているGM 冷凍機は、超伝導などを利用した分野にもその用途を広げています。
4K 冷凍機やパルスチュー...