各種電源・ロボット関連

アルバックの真空搬送ロボットは、真空機器メーカーとしての豊富な技術と経験を活かした、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。
また、成膜装置向け電源と各種EBガンを提供しています。