アルバックのエッチング装置は、新型不揮発性メモリーから化合物半導体の難エッチング材料におけるエッチングまで、あらゆるニーズに対応します。
量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800は、1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡...
オプトデバイス、MEMS向けドライエッチング装置NLD-5700は、磁気中性線プラズマ（NLD）源を搭載した量産用ドライエッチング装置...
研究開発向けNLDドライエッチングNLD-570は、アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ（NLD）による低圧・低電子温度・高密...
バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact...
研究開発向け高密度プラズマエッチング装置NE-550EXは、有磁場ICP（ISM=Inductively Super Magnetro...
高密度プラズマドライエッチング装置ULHITETM NE-7800HはFeRAM、...
