軽量・コンパクトなポータブルタイプ

φ150mm対応の手動ステージタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500Mは、操作性の良いφ150mm 対応の手動式R-θステージを装備しており、測定位置決めが容易に行なえます。
>> エリプソメータのラインアップはこちらから

マッピング測定が可能な自動ステージタイプ

各種装置への組み込みが可能なビルトインタイプ

P-7/P-17 は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーで...

P-170は実績豊富なP-17をベースに自動搬送機構を追加したモデルです。　搬送ロボット、プレアライナ、自動XY-θステージ、パターン...

Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差（膜厚）、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社...